전자빔 노광장치 - electron beam exposure system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔으로 노광하는 노광장치. 빔의 스캔방식으로, 라스터스캔식 전자빔노광장치와 벡터스캔식 전자빔노광장치로 분류된다. 웨이퍼에 직접 전자빔으로 묘화하는 장치를 전자빔직접묘화장치라고 부르는 것도 있다.