전자빔 어닐장치 - electron beam annealer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

고에너지의 전자빔을 조사하여 웨이퍼표면, 또는 웨이퍼 위에 형성된 막을 국부적으로 단시간에 열처리하는 장치. 전자선의 조사방식에 따라 펄스 전자빔 어닐장치, CW 전자빔 어닐장치로 구분된다.