전해이온수제조장치 - electrolytic ionized water(EIW) production equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

초순수를 전기분해하여, 산화환원전위(ORP)가 높은 음극수(anode water)와 ORP가 낮은 양극수(cathode water)를 만드는 장치. 음극수는 웨이퍼 표면의 금속제거에, 양극수는 미립자의 제거에 효과가 있다.