효과 에지 - effective edge

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 패턴의 절연부에서 빛의 투과율이 같은 점을 연결한 궤적. 패턴의 실질적인 경계선이 된다.