에지러프니스 - edge roughness

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

묘화된 패턴의 에지부의 굴곡 정도. 레지스트, 공정조건, 전자빔의 직경 및 빔의 모양 등에 의해 변한다.