에지 린스 에지 클린 - edge bead remover E.B.R.

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 표면의 끝부분이 각 공정에서 위치결정부 등과 접촉하는 경우, 레지스트의 결함 등에 의해 먼지가 생긴다. 이것을 막기 위해 웨이퍼 표면부의 레지스트를 용제로 제거하는 것. 보통 레지스트도포 때에 실시한다.