다이나믹 비점보정 - dynamic astigmatism correction

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

편향기에 전자빔을 편향할 때, 편향양의 증대 또는 편향방향에 의해 비점(非点)수차가 발생한다. 이런 수차의 제거를 위해 편향신호에 따라 비점수차를 보정하는 것.