이물검사 - dust paticle inspection contamination inspection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빛의 투과 또는 산란반사 등을 이용하여 기판과 펠리클 위의 이물과 흠을 검사하는 장치.