더미웨이퍼 - dummy wafer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

부하(loading)효과에 대한 대책으로 사용되며, 실제로 IC 패턴이 형성되지 않고 장치의 가동 테스트, 배치(batch)처리를 할 때, 다른 웨이퍼와 마주보게 한다.