이중대머신 - dual damascence

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

미리 비아(콘택)홀과 배선이 되어야 하는 부분에 홈을 형성해 두고, 막을 성장시켜 매립하고, 다음에 연마하여, 여분의 퇴적부분을 제거하여, 홀의 매립배선을 동시에 형성하는 기술.