건식식각 장치 - dry etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기상(氣象) 상태에서 웨이퍼 등을 식각하는 장치의 총칭. 감압 상태에서 활성가스 플라즈마를 이용하여 식각하는 경우가 많다.