배출 박스 - drain box

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 회전시켜 레지스트 도포하고 현상하는데, 웨이퍼에 과잉적으로 적하(滴下)된 도포액은 배출된다. 이 배출액의 도포 또는 현상부의 바로 밑에서 회수하는 용기를 배출박스라 한다. 바로 밑에서 회수하지 않고 ,공장설비 또는 별도의 회수용기(장치외)에 배출되는 자동배출방식(auto drain)도 있다.

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