기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
드래프트챔버 - draft chamber
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
가스형태의 오염물, 먼지, 수분, 열 등이 청정실로 확산되는 것을 막기 위해, 국소배기하는 구조의 발생부를 포위하는 챔버. 식각, 세정공정 등에 이용되고 있다.
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