플라즈마분리형 플라즈마 식각장치 - downstream plasma etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플라즈마 발생실과 식각실이 분리되어, 플라즈마 발생실에서 생성된 비교적 긴 수명의 중성라디칼을 식각실로 운송하여 웨이퍼를 식각하는 플라즈마 식각장치.