왕복컷 - down and upcut

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 1라인 마다 블레이드의 회전방향과 동일방향으로 전송(downcut)하는 것과 역방향으로 전송(upcut)하는 것을 교대로 하여 절삭하는 기능. 한 방향만 절삭하는 방식에 비해 쓰루풋(throughput)이 향상되지만, 치핑(chipping, 절단부분의 결함)이 크게 되는 경향이 있다.

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