양면폴리싱기 - double side polishing machine

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

4-way의 운동기구를 갖고, 웨이퍼를 캐리어 안에 배치된 구멍에 배열한 윗정반에 다수배열된 슬러리 구멍으로 슬러리를 양면을 도잇에 거울면으로 하는 장치. 위아래정반은 평면으로 화학적으로 침투되지 않는 연마포를 부착한 것을 사용한다.