웨이퍼내 주입균일성 - dose uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온주입된 웨이퍼 표면의 불순물농도가 어느 정도 균일한가를 보여주는 지표. 이 평가방법으로, 보통 열처리한후 4탐침법(探針法)에 의해 웨이퍼 표면에 열 몇 개 점의 면저항률(시트저항)을 분석측정하여, 통계처리를 해 부정합을 구한다. 균일성=σ/ 는 측정시트저항값의 평균값에서 = / 단은 웨이퍼 시드저항값의 측정점의 개수,는 각측정점의 시드저항값. σ는 표준편차로 σ= C935

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