도핑장치 - doping system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

p형, n형의 불순물원자를 웨이퍼 속에 첨가하기 위한 장치. 불순물첨가의 방법으로는 열확산법, 레이저도핑법, 플라즈마도핑법 및 이온주입법 등이 있다.