도너소거 도너킬러 - donor annihilation donor killer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si 잉곳 또는 웨이퍼를 650℃ 전후의 온도에서 단시간(0.5～1.5시간) 열처리 후, 450℃ 전후의 온도영역을 급속하게 냉각함으로써, 산소도너를 없애는 방법.