돔형 지그 - dome jig

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

안쪽에 여러 개의 웨이퍼를 지지하는 돔 모양의 웨이퍼 홀더. 중심축 위에 증발원을 설치하고, 또 돔을 공전시켜 한번에 많은 웨이퍼에 균일한 막을 부착할 수 있다.