분해온도 - dissociation temperature

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CVD의 반응가스가 분해되는 온도. 일반적으로 텅스텐카보닐 등 저온에서 분해되는 가스가 이용된다.