딥현상장치 - dip developer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

현상액 중에 웨이퍼를 침적시켜, 웨이퍼를 진동시키거나 현상액을 휘저어, 균일하게 현상처리하는 장치. 온도 및 액체의 농도 등의 관리를 통하여, 편하게 성능을 업그레이드(upgrade)하는 것이 연구되고 있다.