평행평판형 플라즈마 CVD장치 - diode parallel plate plasma enhanced CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응실 안에 2장의 평판전극을 마주보게 하고, 히터를 내장한 한 쪽 전극판 위에 웨이퍼를 설치하여, 마주보는 전극 사이에 고주파전력을 인가해, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜, 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 용량결합 플라즈마CVD장치.