칩비교검사장치 - die to die inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

같은 마스크 혹은 다른 마스크 위의 동일한 사양의 다이(칩)들의 동일성을 비교하여, 이 두 개의 패턴이 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사장치. 패턴 검사용광학계는 단안식(單眼式)과 쌍안식(雙眼式)이 있다.