다이바이다이 틸트(레벨링) - die - by - die tilting die - by - die leveling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스텝식 투영노광장치에 있어서, 각 스텝마다 실시하는 웨이퍼틸트. 주로 웨이퍼의 국소적인 테이퍼성분의 제거를 목적으로 한다.

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