다이아몬드 CVD - diamond CVD

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

메탄 등의 탄소화합물을 원료로 하여, 다이아몬드박막을 형성하는 CVD. 플라즈마CVD법, 열필라멘트법, 이온빔스퍼터링법 등이 이용되고 있다. 고속․고온작동 반도체 소자의 응용된다.