현상균일성 - developing uniformity CD uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

현상결과의 균일성. 평가방법으로써 선폭균일성(CD균일성)과 막두께감소 균일성이 있다. CD균일성은 보통 CD(Critical Dimesion)을 결정하고, 이 선폭이 현상 후 어느 정도 부정합한가를 나타내는 것이고, 막두께감소 균일성은 패터닝 노광을 하지 않고 현상한 레지스트막두께의 감소량의 부정합을 나타낸다.

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