현상비율 - developing rate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

현상속도. 현상액농도, 레지스트의 감도, 노광량에 의해 달라지기 때문에, 보통 일정한 레지스트, 노광량, 현상액의 종류, 농도에 의 한 기준현상속도를 결정하여, 현상액의 열화 등의 판단기준이 된다.