현상액온도 조정 - developer temperature control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트를 현상할 때, 균일성 향상을 위해, 현상액의 온도를 제어하는 것. 설정온도는 레지스트와 현상액의 특성에 의해 최적화된다.