현상․베이킹․디스컴 장치 - developer baking and descum system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 블랭크에 원화 패턴을 노광 또는 묘화한 후, 레지스트를 현상하고, 가열건조하기 위한 장비로써, 스프레이식․딥식․패덜식이 있고, 베이킹 장치로는 대류(convection)식 오븐 또는 핫플레이트(hot plate) 오븐이 있다. 디스컴 장치로는 플라즈마 디스컴 장치가 있다. 이들 장치의 용어의 의미는 웨이퍼처리공정의 용어를 참조할 것.

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