현상장치 - developer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 처리장치 중에, 웨이퍼 위에 도포된 레지스트에 패턴을 노광시킨 후, 현상하기 위한 장치. 처리의 방법에 따라, 스핀식, 딥식, 스프레이식으로 구분된다.