검출기 - detector

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

물리량과 물질의 유무 등을 검출하고, 전기량이나 전기신호로 변화시키는 것. 전자빔 묘화장치에는 일차전자, 이차전자, 반사전자 등의 전류량, 전자빔의 형상측정용 등으로 이용되고 있다.