증착속도 - deposition rate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위에 단위시간당 성장하는 막의 두께. 진공증착법에서 증착속도, 스퍼터링법에서는 스퍼터링속도, CVD법에서는 퇴적속도라고도 한다.