온초순순공급장치 초순수가열장치 - deionized water heating equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

초순수의 순도를 저하시키지 않고 온순수(40～90。C)를 유즈포인트에 공급하는 장치. 가열방법으로써는, 열교환기와 직접히터에 의한 것이 있다. 접액부의 재질로써는, 스테인레스, 티탄, 불소수지 등이 있다.