탈수베이킹 - dehydration bake

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트처리의 전처리(全處理)로써, 레지스트와 웨이퍼의 밀착성을 강하게 하기 위해, 수분을 제거하는 베이킹.