데이터 바이어스 - data bias

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

포토마스크 위에 패턴 선폭의 균일성고 패턴 모양의 최적화를 목적으로, 원하는 선폭에 대하여, 패턴 위의 선폭에 미리 일정한 오차를 설계하여 넣는 것.