전자선손상 - damage of electron beam

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔을 시료에 조사하면서 발생하는 시료의 손상. 전자빔의 가속전압이 높을수록, 전자빔의 조사량이 많을수록 손상이 크다.