실린더캐비넷 - cylinder cabinet

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조용가스 중에서, 독성이 강한, 혹은 자연발화성이 높은 위험성가스를 안전하게 취급하기 위해, 고압가스용기를 수납하여 가스를 공급하는 장치. N2에 의한 내부 퍼지, 가슬누출경보기, 배기계 등의 기능을 갖는다.