COP - crystal originated particle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si의 CZ결정 웨이퍼를 SC-1세정하면, 표면결합측정기에 의해 마치 0.1～0.2㎛의 입자가 존재하는 것처럼 미소한 피트가 보인다. 보통의 광산란방식의 장치에서는 실제 입자와 식별 불가능한 것을 COP라고 부른다. 결정(結晶)을 끌어올리는 조건에서 발생 정도에 영향받아, SC-1 세정을 반복하며 증가시키 때 생기는 일종의 결정결함을 식각한 흔적으로 생각되고 있다.

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