크래들 - cradle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

원심건조장치의 회전부(rotor turntable)에 복잡한 카세트를 수납하기 위해 달려있는 수납부. 웨이퍼를 반입할 때는 삽입구가 수직방향으로 열려있고, 운전할 때는 웨이퍼 면이 수평으로 되도록 90도 회전한다.