기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

좌표각도차 - coordinate nominal accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
마스크 위의 패턴의 좌표위치를 4직각(0°,90°,180°,270°)에서 각각 여러 번 측정한 값들의 오차 정도.