냉각 스테이지 - cooling stage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

어닐 후의 웨이퍼를 원하는 온도까지 냉각하기 위한 스테이지. 석영을 이용한 수냉판(水冷板) 또는 직접진공을 흡입하는 방법 등이 있다.