콘트래스트 γ 특성 대비도 - contrast γ characteristic of resist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 해상도에 관계되는 지표인데, 전자선 조사량(照射量)의 변화에 대한 레지스트 박막의 변화 비율로 표시된다. 콘트래스트가 높은 쪽이 해상도가 높다.(즉, 그림에서 기울기 tanθ가 클수록 해상도가 크다.)