오염양 - contaminat - ion level

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 속의 주입량과 SIMS, 원자흡광분석 등의 정량분석을 이용하여, 아래의 식을 이용하여 산출한다. 오염양[％, ppm] C954 이온주입장치에는, 혼합 이온빔전류와 원하는 이온빔전류와의 비로 표시하는 경우도 있다.