콘택 근접 노광장치 - contact proximity aligner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

한 대의 장치로 선택적으로 마스크와 웨이퍼를 밀착 또는 근접시켜 노광할 수 있는 노광장치. 밀착되어 노광하는 장치를 콘택노광장치, 근접하여 노광하는 장치를 근접노광장치라고 각각을 구별지어 부르는 경우도 있다.