냉각수설비 - condensing water system cooling water system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

냉각탑, 열교환기, 송수펌프, 배관설비 등으로 구성되며, 반도체제조장치, 공기, 물 등을 냉각수를 이용하여 냉각하는 설비. 밀폐순환식, 개방순환식, 일과식 등의 송수방식이 있다.