콜리메잇 스퍼터링 - collimate sputtering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

단차부의 가로세로비(aspect比)가 큰 콘택홀에 막을 성장시킬 때, 밑바닥까지 충분히 박막이 형성되도록, 타겟과 웨이퍼 사이에 격자모양의 판을 삽입하여 강제적으로 수직성분을 높이는 스퍼터링.