기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

냉온벽 - cold wall

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
CVD장치에 있어서, 반응실에 내장된 히터와 램프에서 방사되는 열과 고주파가열로 웨이퍼를 가열하는 방법. 반응실 벽의 온도가 고온이 되지 않기 때문에, 고온벽(hot wall)에 대비하여 냉온벽이라 부른다.