동축마그네트론스퍼터링장치 - coaxial magntron sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

음극와 양극이 동축(同軸)원통 모양의 구조를 갖는 마그네트론 스퍼터링장치. 중심에 있는 원통 모양의 타겟 내부에는 원통 모양의 자석이 여러 개 들어가 있으며, 타겟표면과 평행한 자계가 발생하여 마그네트론 방전을 유지한다. 음극과 양극의 배치가 역전된 역동축(逆同軸)마크네트론 방식도 있다.

전체 게시물 보기