도포장치 - coater

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 처리장치 중에 웨이퍼에 레지스트를 도포하기 위한 장치. 처리방법은 스핀방식이 대표적이다.